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【2024年最新】 リンテック 液体マスフローコントローラ LC-3102L 1台 64-8948-16(直送品)

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商品説明

商品の特徴 ●ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化●デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
メーカー名 リンテック ブランド名 リンテック
使用保証温度 15~35℃0~80%RH 再現性 ±0.5%F.S.
耐圧 1MPa(G) 精度 ±1.0%F.S.
直線性 ±0.5%F.S. 流量(H2O) 0.2g/min
流量制御範囲 5~100% 接液部材質 SUS316L,PCTFE
所要電源 +15VDC±3%100mA-15VDC±3%50mA 応答時間 3sec
重量 1.0kg リークレート 1×10-11Pa・m3/secHe
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ バルブ動作 ノーマリオープン
デジタルインターフェイス モジュラジャックRJ45/RS-485 シール材 Au
アナログ流量設定信号 0.25~5VDC 必要差圧 50~300kPa
アナログコネクタ Dsub9pin アナログ流量出力信号 0~5VDC
取付姿勢 自由
備考 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。

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