商品の特徴 | ●ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化●デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 | ||
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メーカー名 | リンテック | ブランド名 | リンテック |
使用保証温度 | 15~35℃0~80%RH | 再現性 | ±0.5%F.S. |
耐圧 | 1MPa(G) | 精度 | ±1.0%F.S. |
直線性 | ±0.5%F.S. | 流量(H2O) | 0.2g/min |
流量制御範囲 | 5~100% | 接液部材質 | SUS316L,PCTFE |
所要電源 | +15VDC±3%100mA-15VDC±3%50mA | 応答時間 | 3sec |
重量 | 1.0kg | リークレート | 1×10-11Pa・m3/secHe |
バルブ方式 | ピエゾアクチュエータ | バルブ動作 | ノーマリオープン |
デジタルインターフェイス | モジュラジャックRJ45/RS-485 | シール材 | Au |
アナログ流量設定信号 | 0.25~5VDC | 必要差圧 | 50~300kPa |
アナログコネクタ | Dsub9pin | アナログ流量出力信号 | 0~5VDC |
取付姿勢 | 自由 | ||
備考 | 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。 |