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【2024年最新】 NOK フォンブリングリース 高真空用グレード
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半導体製造装置を始め、各種真空機器に長年にわたり使用されて来た実績を誇る低蒸気圧、低蒸発損失のグレード。耐摩耗性が要求される半導体製造装置の駆動部に使用されて高い評価を得ているグレードです。又、真空のシール用としても実績があります。【用途例】半導体製造装置、各種真空機器、高真空・クリーンルーム内で使用される各種装置